ISO 20341:2003
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ISO 20341:2003
34162
Indisponible en français

État actuel : Publiée (En cours d'examen)

Le dernier examen de cette norme date de 2019. Cette édition reste donc d’actualité.
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Résumé

ISO 20341:2003 specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials.

It is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.

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Informations générales

  •  : Publiée
     : 2003-07
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  •  : 1
  • ISO/TC 201/SC 6
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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