Numéro de référence
ISO 11952:2014
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ISO 11952:2014
Analyse chimique des surfaces — Microscopie à sonde à balayage — Détermination des quantités géométriques en utilisant des microscopes à sonde à balayage: Étalonnage des systèmes de mesure
Edition 1
2014-05
Annulée
Annulée (Edition 1, 2014)

Résumé

ISO 11952:2014 specifies methods for characterizing and calibrating the scan axes of scanning-probe microscopes for measuring geometric quantities at the highest level. It is applicable to those providing further calibrations and is not intended for general industry use, where a lower level of calibration might be required.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2014-05
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 9
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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