Reference number
ISO 13084:2018
© ISO 2024
International Standard
ISO 13084:2018
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
Edition 2
2018-11
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 2, 2018)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2024. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 13084:2018

Langue
Format
CHF 96
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Résumé

This document specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight secondary ion mass spectrometry (SIMS) instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restricted to any particular instrument design. Guidance is provided for some of the instrumental parameters that can be optimized using this procedure and the types of generic peaks suitable to calibrate the mass scale for optimum mass accuracy.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2018-11
    Stade
    : Norme internationale à réviser [90.92]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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