ISO/CD 23131-3
Ellipsométrie — Partie 3: Titre manque
Numéro de référence
ISO/CD 23131-3
Edition 1
Committee Draft
ISO/CD 23131-3
83903
Examen du projet par le comité en cours.

Résumé

This document uses ellipsometric measurements and their analysis to specify the method for the determination of the layer thickness d of a transparent layer and the optical (refractive index n) or dielectric (real part ε1) constants/functions based on the transparent single layer model within a spectral region, for which k = 0 applies.

Informations générales

  •  : Projet
    : Mise en consultation du CD [30.20]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

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