ISO/AWI 19383
Atomic Layer Deposition-- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Reference number
ISO/AWI 19383
Версия 1
© ISO 2024
Working draft
В стадии разработки
Проект данного международного стандарта был подготовлен рабочей группой.

Тезис

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Общая информация

  • Текущий статус
     : В стадии разработки
    Этап
    : Регистрация новой рабочей темы в программе работ ТК/ПК [20.00]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 107
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами
+41 22 749 08 88

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. ТК
  5. ISO/TC 107
  6. ISO/AWI 19383